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無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱高溫試驗(yàn)箱*

更新時(shí)間:2019-12-05

簡(jiǎn)要描述:

無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱高溫試驗(yàn)箱*系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱老化試驗(yàn)箱廠家

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無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱高溫試驗(yàn)箱*

百級(jí)無(wú)塵熱風(fēng)循環(huán)烤箱技術(shù)方案

無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱高溫試驗(yàn)箱*

一、  概述

 根據(jù)用戶(hù)要求、提出的設(shè)計(jì)思路,該設(shè)備主要用于電子,電器,塑膠,液晶顯示器等等的高溫老化,干燥固化之用。加熱方式采用經(jīng)典的熱風(fēng)循環(huán)原理,大大提高了溫度的均勻性。爐膛內(nèi)腔全部采用巖棉板材制作而成;溫度控制儀表選用中國(guó)臺(tái)灣的智能程序控溫儀控溫,其具有P、I、D 參數(shù)自整定和人工修訂功能,同時(shí)具有超溫、欠溫、斷偶等斷電報(bào)警保護(hù)功能。是目前、國(guó)內(nèi)比 較成熟、的控制儀表。爐體結(jié)構(gòu)根據(jù)國(guó)外圖紙細(xì)化分解加工而成,外型優(yōu)化處理,是企業(yè)批量生產(chǎn)的理想設(shè)備。

二、  設(shè)備*性能

 因?yàn)橛兄鴮?zhuān)業(yè)的無(wú)塵設(shè)備和干燥設(shè)備的設(shè)計(jì)理念;豐富的纖維材料干燥設(shè)備設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn);本著充分結(jié)合用戶(hù)工藝需求的設(shè)計(jì)思想。我司產(chǎn)品的性能除了具有老化設(shè)備一般的基本性能外,以下性能顯得更加*:   

1、 整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定、可靠—經(jīng)過(guò)幾次的完善,優(yōu)化,細(xì)節(jié)改進(jìn),核心部件的質(zhì)量控制,加上生產(chǎn)工藝的固化;設(shè)備整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定、可靠。  

2、 溫控精確性、穩(wěn)定性高—的 0.1 級(jí)溫控儀表,*的控制方式,合理的功率分布, 溫度的精確性、穩(wěn)定性達(dá)到了佳狀態(tài),提高了產(chǎn)品的干燥處理品質(zhì)。  

3、 溫度均勻性、重復(fù)性好—該爐采用經(jīng)典的熱風(fēng)循環(huán)加熱,高品質(zhì)的輕質(zhì)纖維材料,設(shè)備的溫度均勻性、重復(fù)性有了很好的提高和改善。  

 

三、 主要性能指標(biāo)參數(shù):

項(xiàng)次

內(nèi)   容

規(guī)                                格

1

 

2

 

 

3

 

 

 

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5

 

 

 

 

 

 

 

6

 

 

7

 

 

 

8

 

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電源

 

內(nèi)尺寸

外尺寸

 

溫度范圍

 

 

 

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

溫度控制器

 

 

 

 

 

 

 

 控制方式

 

 

循環(huán)系統(tǒng)

 

 

 

電熱器

 

  安全裝置

 

 

 

配置

 

 

 

保證

 

售后保固

 

 

 

功能特色

 

 

 

 

 

 

安裝場(chǎng)地

 

 

 

 

說(shuō)明

 

 

 

 

參考圖片

AC220V  1φ  50HZ  6KVA

 

W500mm×D500mm×H600mm  

W760mm×D900mm×H1280mm(參考尺寸)

 

常溫+25℃~300℃,常用溫度260常溫~260℃約需時(shí)間35分鐘(空爐測(cè)試).

溫度均勻度&plsmn;2%(空爐測(cè)試,恒溫20分鐘后測(cè)試).控制精度&plsmn;1。

 

1.采用單門(mén)設(shè)計(jì),控制箱位于機(jī)臺(tái)上方,方便操作。.

2.內(nèi)桶:采用進(jìn)口SS430#鏡面不銹鋼板,并經(jīng)驗(yàn)性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生PARTICLE.

3.中桶:采用進(jìn)口SS430#鏡面不銹鋼板經(jīng)氬弧焊密封制作,并經(jīng)驗(yàn)性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。并設(shè)置調(diào)整板,更有效分風(fēng),噴流式的設(shè)計(jì)更人性化。

4.外部采用SS41#板經(jīng)防銹處理后防靜電噴粉烤漆,顏色:象牙白色.

5.采用正廠中央玻璃纖維公司出品,100K級(jí)高密度保溫材質(zhì),隔熱性強(qiáng),保溫厚度80mm,附空氣層隔熱。

6.密封膠條采用T型耐高溫硅膠條迫緊密封,環(huán)保無(wú)污染。

7.采用隱藏式門(mén)扣,強(qiáng)力緊密易開(kāi)易關(guān)。

 

采用智能單段溫度控制器,中國(guó)臺(tái)灣&ldqo;宣榮&rdqo;固態(tài)SSR輸出、配中間繼電器共同控制,中國(guó)臺(tái)灣&ldqo;敏楊&rdqo;溫度傳感器,PID自動(dòng)演算,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定,薄膜設(shè)定,精確度&plsmn;0.3%FS. 

9999計(jì)時(shí)器,數(shù)字式設(shè)定及顯示。

設(shè)定開(kāi)始恒溫計(jì)時(shí)→恒溫時(shí)到切電熱→完成指示燈亮及BZ警報(bào)。

電子式超溫限制,超溫→故障指示燈亮及BZ警報(bào),同時(shí)自動(dòng)切斷加熱,保證安全。

 

1.訊號(hào)來(lái)源:采用日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒&plsmn;0.5%.

2.輸出被控制元件:SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出.

 

采用平面水平背后送風(fēng)后經(jīng)H.E.P.A.Filter36″×24″×5-7/8″.

裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.97%,潔凈度Class100

排氣口3″φ,

 

采用日制進(jìn)口覆套式電熱器(SHEATHED  HEATER)無(wú)塵化電熱發(fā)生器.

 

漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電流過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示、逆向防止器、門(mén)面安裝開(kāi)關(guān).所有電器配件皆采用符合標(biāo)準(zhǔn)之一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

 

1.隨機(jī)附3米之電源線(xiàn)。

2.箱內(nèi)均分3層,配活動(dòng)不銹鋼柵盤(pán)網(wǎng)盤(pán)2個(gè)。

3.中文設(shè)備使用說(shuō)明書(shū).溫控器說(shuō)明書(shū).電路圖各壹份。

 

潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無(wú)塵化配件及材料.

 

1.交機(jī)后一年內(nèi)免費(fèi)換修*件之售后服務(wù)。.(除自然災(zāi)害、電力異常、人為使用不當(dāng)?shù)仍斐芍畵p壞外,本公司*免費(fèi)維修)。

2.保修期外,終身服務(wù)并酌情收費(fèi)。

 

1. 升溫速率好,烘烤出來(lái)的產(chǎn)品品質(zhì)好,溫度穩(wěn)定性能強(qiáng),均勻可靠。

2. 安全保護(hù)設(shè)施設(shè)備齊全,安全性能高。

3. 多層隔熱設(shè)計(jì),密封性好,外表溫度低。

4. 整機(jī)內(nèi)部密封制作,外箱冷扎鋼板經(jīng)防銹處理后粉體噴漆,外形美觀大方。

5. 節(jié)能降耗,恒溫后的輸出功率是整機(jī)功率的1/3

6. SSR控制,溫度波動(dòng)緩沖小

 

  • 地面平整,通風(fēng)良好
  • 設(shè)備周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈震動(dòng),無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)影響
  • 設(shè)備安裝距離墻面至少保留600mm距離
  • 設(shè)備周?chē)鸁o(wú)易燃,易爆腐蝕性物質(zhì)及其粉塵
  •  

  • 此為無(wú)塵烤箱,正常使用時(shí)常開(kāi)、關(guān)門(mén),拿、放取產(chǎn)品;會(huì)受到外界環(huán)境因素的影響,對(duì)周?chē)h(huán)境要求較高,故要求周?chē)?chē)間環(huán)境務(wù)必要保持較高的潔凈度
    1. 原則上要與烤箱的潔凈等級(jí)相匹配,才是的使用模式。

     

     

     

    四、  設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹

       百級(jí)無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱由熱工結(jié)構(gòu)、爐體機(jī)械框架結(jié)構(gòu)、熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、空氣過(guò)濾系統(tǒng)等五大部分組成。  

    1、熱工結(jié)構(gòu)、機(jī)械框架結(jié)構(gòu)  

         熱工結(jié)構(gòu)有加熱部件和保溫材料兩大部分構(gòu)成,加熱部件選用耐高溫 1000型高溫發(fā)熱器,鎳鉻合金材料制作。材料純度高、性能穩(wěn)定,另外通過(guò)精確的功率計(jì)算,合理設(shè)計(jì)發(fā)熱體表面熱負(fù)荷余量,從而保證電阻絲在長(zhǎng)期使用中壽命。

    保溫材料采用高品質(zhì)的輕質(zhì)巖棉材料,其極輕的容重、較小的導(dǎo)熱系數(shù),大大提高了保溫效果、降低了設(shè)備重量,又避免了粉塵的污染,同時(shí)在保溫層

    腔體結(jié)構(gòu)上采取管型方式連接,有效降低連接件的熱傳導(dǎo),在保證了強(qiáng)度的同時(shí),降低了設(shè)備表面溫升。                                         

    機(jī)械框架結(jié)構(gòu)由型鋼連接不銹鋼板而成。內(nèi)腔風(fēng)道、風(fēng)機(jī)葉輪、網(wǎng)孔板、調(diào)節(jié)導(dǎo)向板材料全部選用高溫鋼板材。右側(cè)側(cè)面及頂部選用不銹鋼孔板,設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口,和廢氣排放口,進(jìn)和排放致力于為熱能技術(shù)、工程提供yi流的解決方案。布置離心式的循環(huán)風(fēng)機(jī),風(fēng)機(jī)與爐膛之間用網(wǎng)孔板隔開(kāi)。密封采用硅橡膠條密封,確保設(shè)備外型美觀、良好的密封結(jié)構(gòu)。

    2、熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng) 

    熱風(fēng)循環(huán)烤箱系統(tǒng)由離心風(fēng)機(jī)、循環(huán)風(fēng)道、進(jìn)氣口、調(diào)節(jié)閥、排氣口、回風(fēng)腔、高效過(guò)濾器等部件組成,速度連續(xù)可調(diào),在試機(jī)前進(jìn)行嚴(yán)格動(dòng)平衡試驗(yàn);循環(huán)風(fēng)道經(jīng)過(guò)合理設(shè)計(jì),符合產(chǎn)品分布擺放需要;進(jìn)氣口于適時(shí)補(bǔ)充新氣;調(diào)節(jié)閥、采用極為*、風(fēng)量適時(shí)可調(diào)的控制原理, 保證微分式調(diào)節(jié);排氣口通過(guò)引風(fēng)管至車(chē)間頂,便排放污染的廢氣,降低循環(huán)風(fēng)中物質(zhì)的濃度。

    3、溫度控制系統(tǒng)  

    溫度控制儀表采用中國(guó)臺(tái)灣智能程序控溫儀,要求 P、I、D參數(shù)自整定和人工修訂功能,同時(shí)具備斷偶、超溫和欠溫?cái)嚯妶?bào)警保護(hù)功能;進(jìn)口電力調(diào)整器,移相觸發(fā),實(shí)現(xiàn)無(wú)級(jí)調(diào)壓,升溫平穩(wěn)。測(cè)溫元件采用K分度熱偶。由于程序智能溫控儀表同時(shí)具有PID參數(shù)自整定功能,無(wú)須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)熱慣性系數(shù)的變化來(lái)消除干擾因素、調(diào)節(jié)溫度變化,從而滿(mǎn)足不同溫度工藝要求,在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中無(wú)須監(jiān)控。關(guān)鍵電氣元件采用的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護(hù),提高了設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性。測(cè)溫元件采用凱裝的K分度熱電偶,控制柜與爐體一體化,控制面板上設(shè)有智能化溫度控制和顯示儀表、電源開(kāi)關(guān)、控制開(kāi)關(guān)、指示燈等。柜內(nèi)有散熱風(fēng)扇??刂泼姘迳细鞣N儀表、開(kāi)關(guān)等有相對(duì)應(yīng)的中文標(biāo)牌和銘牌,設(shè)備的關(guān)鍵電氣元件采用的進(jìn)口產(chǎn)品,提高了設(shè)備運(yùn)行的可靠性。

    4.空氣過(guò)濾系統(tǒng)。

    采用耐高溫300度高效過(guò)濾器,過(guò)濾效率99.97%。

    無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱老化試驗(yàn)箱廠家

    無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱老化試驗(yàn)箱廠家

    五、  設(shè)備工作環(huán)境

    1、供電配置;220V&plsmn;10%;  50HZ,線(xiàn)制,功率:6KVA

    2、設(shè)備環(huán)境大氣壓力:86.0~106.0Kpa  

    3、設(shè)備環(huán)境空氣濕度:<85%RH 

    無(wú)塵精密熱風(fēng)循環(huán)烤箱高溫試驗(yàn)箱*

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